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我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成

2016/6/12 0:00:00泉源：中国修建质料科学研究总院

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　　克日，，，，，，，，6686体育 - 流通首播全球篮球足球热门赛事总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造手艺，，，，，，，，在衢州建设了海内首条从基板原质料制造到产品加工的成套生产线。。。。。。。。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，，，，，，，，突破了石英玻璃基板原质料及产品恒久依赖入口的时势。。。。。。。。

该生产线的建设，，，，，，，，是6686体育 - 流通首播全球篮球足球热门赛事总院肩负的“十二五”国家科技支持妄想“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种质料要害手艺研发及树模”课题的效果之一。。。。。。。。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的焦点器件，，，，，，，，市场需求量重大。。。。。。。。作为石英玻璃基板的原质料，，，，，，，，合成石英玻璃具有热稳固性好、光学匀称性高、耐辐照等诸多优点。。。。。。。。然而，，，，，，，，受原质料纯度、匀称性及加工精度、硬脆特征等制约，，，，，，，，我国石英玻璃基板恒久依赖入口。。。。。。。。

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　　作为我国唯一专业从事石英玻璃研究的科研院所，，，，，，，，6686体育 - 流通首播全球篮球足球热门赛事总院石英院依托浙江衢州高新园区的化人为源，，，，，，，，形成了循环经济工业链，，，，，，，，建设了高性能石英玻璃研发基地，，，，，，，，并建设中6686体育 - 流畅首播全球篮球足球热门赛事衢州金格兰石英有限公司。。。。。。。。经科研职员不懈起劲，，，，，，，，形成一套切合我国行业现状与生长趋势的独吞工艺蹊径，，，，，，，，不但解决了石英玻璃基板原质料的纯度、匀称性难题，，，，，，，，同时实现了原质料绿色制造。。。。。。。。石英院还引入多刀切割、清静快速磨抛工艺，，，，，，，，创立性地开发了熔拉制坯、数控倒角等手艺，，，，，，，，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。。。。。。。。从基板原质料制造到产品加工，，，，，，，，石英院形成专利20余项，，，，，，，，行业标准、国军标及国家标准10余项，，，，，，，，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，，，，，，，，不但逐步替换入口，，，，，，，，实现了集成电路等用高性能石英玻璃要害质料及制品的国产化，，，，，，，，并且出口欧洲、日本等国。。。。。。。。